VOCガスを予熱バーナーによって分解に必要な温度（200～400℃）まで加熱します。
加熱されたVOCガスは、触媒酸化塔に入ります。ここで貴金属触媒に接触することによって酸化反応が行われ、VOCが分解処理されます。
浄化されたガスは、熱交換器を通り大気に放出されます。

活性炭またはゼオライトを特殊成形したハニカム状ローターを用いており、単位面積あたりの風量が大きくとれます。 VOCガスは、ハニカムローターを通る間に吸着浄化され、大気に放出されます。 吸着されたVOCは、ハニカムローターの回転により脱着部に送られ、少量の加熱エアによって脱着され、濃縮ガスとして回収されます。 これらの工程は、ハニカムローターの回転によって連続的に行うことができます。 脱着用加熱エア量は、原ガス量に対して1/5～1/15で、濃縮ガス中のVOC濃度は、原ガスと脱着用加熱エアとの比率にて濃縮されます。

極めて細い繊維を不織布にした、活性炭繊維を吸着材として用います。
活性炭繊維は、脱着速度が速いため、脱着再生を10分以内に行うことができます。